Akhmad, Al Antoni (2010) FOCUSED ION BEAM MICROMACHINING. Jurnal Rekayasa Sriwijaya, 19 (2). pp. 61-69. ISSN 0852-5366
Preview |
Text
3.pdf Download (674kB) | Preview |
Abstract
Produk-produk modern yang dikembangkan sekarang banyak memiliki ukuran yang semakin kecil dalam skala mikrometer. Proses pembuatan komponen dalam skala mikrometer tersebut dapat dilakukan dengan Focused Ion Beam (FIB).Seiring dengan perkembangan zaman karena kemampuannya dapat digunakan untuk memproduksi benda-benda berukuran mikro maka FIB ini dikembangakan dengan micromachining atau sering disebut dengan Focused Ion Beam Micromachining(FIBM). Teknologi FIBM memiliki keunggulan dibandingkan teknik-teknik micromachining lainnya dikarenakan resolusi spasialnya yang tinggi dan kemampuan untuk pabrikasi tanpa maskant. Dengan mengatur parameter-parameter pemesinan, struktur-struktur dengan bentuk tiga dimensi kompleks yang berukuran mikro dapat dibua dengan FIBM ini.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | T Technology > TJ Mechanical engineering and machinery > TJ1-1570 Mechanical engineering and machinery T Technology > TS Manufactures > TS1-2301 Manufactures > TS655.N38 Metal spraying--Congresses. Plasma spraying--Congresses |
| Divisions: | 03-Faculty of Engineering > 21201-Mechanical Engineering (S1) |
| Depositing User: | Al Antoni Akhmad, S.T., M.T., Ph.D. |
| Date Deposited: | 02 Oct 2019 07:46 |
| Last Modified: | 02 Oct 2019 07:46 |
| URI: | http://repository.unsri.ac.id/id/eprint/9245 |
Actions (login required)
 |
View Item |